三磨所拟2.63亿元投建微波等离子（MPCVD）大单晶金刚石项目

9月6日，国机精工股份有限公司公告，以全资子公司郑州磨料磨具磨削研究所有限公司（三磨所）为主体，拟投资2.63亿投建新型高功率 MPCVD 法大单晶金刚石项目（二期），建设年产5万片超高导热单晶/多晶金刚石材料生产线和年产60万片高品级大单晶金刚石生产线各一条，项目设计总产能为65万片/年。

微波等离子体化学气相沉积(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition，MPCVD)相比其他等离子的优势在于利用微波这一高频电场的作用在无电极情况下实现稳定放电，所以样品受到的污染较小，且在微波作用下，急剧振荡的气体能够充分活化，形成较高的等离子体密度。因此，MPCVD常用于生长高质量的金刚石薄膜，国际上著名的Fraunhofer研究所、戴比尔斯等，都在使用MPCVD法培育钻石。

2018 年，国机精工配套募集资金投向新型高功率MPCVD法大单晶金刚石项目（一期），截止2022年6月末，该项目已经实施完毕，具备了年产30万片MPCVD法大单晶金刚石的能力。本次项目则被视为是一期项目的延续及深化，持续对 MPCVD 法大单晶金刚石功能化应用开展研究，解决金刚石在功能化应用过程中设备、技术、工艺核心问题，破解国外对于关键设备、技术的封锁。项目建设期18个月，建成后第二年达产。