压力烧结炉

发布时间：2011-3-18 12:02:51

  压力烧结炉技术指标


炉子具备真空烧结、脱腊、气氛处理、高温加压、快速冷却等具体功能。

装料空间 L/W/H——900/500/500mm
装料毛重 700Kg
额定温度 1600℃
使用温度 1580℃
升温速率 1000-1400℃≥10℃/min
温度均匀性 60bar Ar 1450℃ 充分保温 ±7℃
控制片矫顽磁力偏差 ≤0.4KA/m
钴磁偏差 ≤0.4%
真空1400℃充分保温 ±5℃
极限真空度 1×10-2mbar
泄漏率 5×10-3mbarl/s
收腊率 ≥ 95 %
抽气速率 1atm 至5 ×10-2mbar ≤30min
放空速率 5 ×10-2mbar至1atm ≤3min
60bar至1 atm ≤10min
高压工作压力 ≤60bar
安全测试压力 ≥78bar
高压升压速率 ≥5bar/ min
工艺气体种类 CH4、H2、Ar2三种进气
工艺气体压力 0—200mbar可调
工艺气体压力控制精度 ≤5mbar
工艺气体流量 0—30sl/min 可调
工艺气体进气压力 1—2.5bar
气氛均匀性 钴磁偏差 ±0.2%以内
冷却速率 1320℃—80℃ 不回填 ≤5h
冷却水进水压力 ≤4.5bar
压缩空气 主气源：压缩空气 ≤5bar
应急气源：氮气 ≤5bar